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BTMEMS系列MFM的流量測量基礎原理為熱擴散原理，介質壓力和溫度變化理論上不影響流量 測量的精度，有利于提高測量精度和可靠性。BTMEMS系列MFM集成了MEMS(微機電系統)、數字信號處理、數值仿真等先進技術。熱擴散原理及上述技術的應用保證了MFM的優良性能。其

特點包括:高靈敏度、高可靠性、大量程比、壓損小、快速響應、無需預熱、優異的零點和溫度穩定性、支持小微流量測量等。

BTMEMS系列MFM選用與美國半導體公司合作研發的流量傳感元件以及高性能的主控元件，產品生產檢驗全過程嚴格執行質量控制，保證產品的精度和長期可靠性。

BTMEMS系列適用于(1)新能源行業的光伏材料工藝設備、鋰電材料工藝設備、氫能燃料電池測試設備；(2)半導體行業如半導體集成電路工藝設備、光纖加工設備，包括擴散、氧化、分子束外 延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入、真空鍍膜、光纖熔煉等生產工藝設備；(3)生物醫藥裝備如醫療和制藥氣體設備、實驗室微反應裝置、氣體混合系統。

產品特點：

1.高靈敏度、高可靠性、

2.大量程比、壓損小、

3.快速響應、無需預熱、優異的零點和溫度穩定性、支持小微流量測量等